论坛 › 几何量计量 › 平晶平面度如何计算？

柔指轻敲 发表于 2007-8-26 12:59:47

平晶平面度如何计算？

JJG28-2000 附录D，25页，说
"当被检工作面小于或等于100mm时，按下式计算平面度△f=(d↑2/95)*f95"
这时不需要测量条纹间距a和弯曲量b吗？如何理解呢？

zssugen 发表于 2007-8-26 17:24:27

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      对高精度的小平面，其平面度误差通常用平晶测量，测量时，将平晶的工作面置于被测表面上，并稍作倾斜以形成一个很小的空气楔，根据光波干涉原理，可看到光波干涉带。当干涉条纹呈现相互平行且为直的明、暗条纹时，则平面度误差为零。改变平晶与实际表面的夹角，干涉条纹之间的距离将产生变化，空气楔角增大，干涉条纹变密；反之，干涉条纹变疏。当平晶与被测实际表面形成封闭干涉条纹时，平面度误差为干涉条纹数乘以光波波长之半，若干涉条纹为不封闭的弯曲形状，平面度误差f为干涉条纹弯曲度与相邻两条纹间距之比（a/b）,再乘以光波波长之半，即f=a/b×(λ/2)。

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2007-8-26 18:47 编辑 ]

深圳渔民 发表于 2007-8-27 10:47:43

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你没有仔细看规程。这里说的是"当被检工作平晶直径于或等于100mm时，应按下式计算标准平晶在该区域的平面度”。目前各单位用的等厚干涉仪多是北京计量仪器厂出的，标准平晶直径150mm，检定证书会给两个平面度值，全范围的和D96（也就是中心2/3直径）的平面度。当被检平晶直径等于100mm时，应该用D96平面度值，当被检平晶直径小于100mm时，要按规程D.2公式计算标准平晶在该区域的平面度，实际就是计算修整量。

深白色 发表于 2007-9-4 11:26:45

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还有一点需要注意，就是规程上的公式是有印刷错误

九江风云 发表于 2007-9-14 19:11:14

估算出来准确吗？不是太好理解。

gj3711 发表于 2007-9-15 00:12:01

有几条干涉带如何判断呢？

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