zhaoli 发表于 2010-6-30 09:41:22

D07-9E型 气体质量流量控制器

我们公司使用的是北京七星的D07-9E型 气体质量流量控制器 ，不知道这种东西能校准么？能不能现场校准，代价大不？
具体参数请看网站http://mfc.sevenstar.com.cn/Product/ProductDetail.aspx?OID=17

大强 发表于 2012-4-6 14:45:51

楼主你好，我遇到的问题与你一样。
我现在所知道的方法有：
1.DHI molbox标定系统，福禄克出的，绝对可以标定，七星华创就是用它来进行出厂标定的，很贵，不下40万。
2.钟罩式气体流量检定装置，丹东几家公司都有，几万元到十几万元不等，采用进气式应该可以标定，但不便现场标定。
3.七星华创的高精度MFC，串联起来现场比对标定，一两万元的样子。
最好就是方案三吧，我觉得。欢迎一起探讨，我邮箱：yzq37150@sina.com。QQ:306083148

大强 发表于 2012-4-6 14:59:00

楼主，这是我曾经提出的问题：http://www.gfjl.org/viewthread.php?tid=155488&extra=page%3D2%26amp%3Bfilter%3Dtype%26amp%3Btypeid%3D38
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