计量民工 发表于 2011-4-8 13:28:40

zygo干涉仪如何检定

型号为GPI XP4的zygo干涉仪如何检定
用什么型号等级的标准
在线等

caolb 发表于 2011-6-25 18:05:12

用直径150mm的标准平晶,其平面度为波长/30

drymartiny 发表于 2013-5-30 16:04:41

楼上确定么?

深圳渔民 发表于 2013-5-31 16:30:03

找国家计量院吧,他们有1/40的标准平晶。

lqxiaocat绿叶 发表于 2023-12-1 13:49:22

你好,请问有ZYGO干涉仪的检定规范吗
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