用于一等量块检定的柯氏干涉仪的改造
摘要：介绍了经过改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定.从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对于涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度.改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量准确度,解决了一等量块长度测量问题.
作者： 裴雅鹏 黄晓蓉
Author： PEI Ya-pen HUANG Xiao-rong
作者单位：
北京航天计量测试技术研究所,北京,100076
中国测试技术研究院,成都,610021
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