2m比长仪纳米级高精度刻线自动瞄准系统
摘要：阐述了2m比长仪刻线瞄准系统的组成,对其光电显微刻线成像的原理及刻线图像信号进行了分析,根据其刻线信号的特点,研究了其高精度的刻线信号自动处理系统,该系统基于FPGA现场可编程电路技术,实现刻线信号的自动门控触发、自动滤除虚假刻线信号,配合计算机信号自动处理软件可以实现刻线测量的高精度自动瞄准.最后对2m比长仪的瞄准精度进行了测试实验,实验结果表明,测量金属标准线纹尺时,2m比长仪单次测量刻线瞄准精度优于10nm(1σ).作者： 叶孝佑 高宏堂 邹邻丁 张晓 甘晓川 孙双花 常海涛 沈雪萍 陈黎云
作者单位：
中国计量科学研究院,北京,100013
浙江计量科学研究院,浙江,杭州,310013
北京航空航天大学,北京,100191
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