干涉显微镜不确定度的分析评定
干涉显微镜不确定度的分析评定[摘要]
本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,表明干涉显微镜能按检定系统表和检定规程开展量值传递.
[关键词]
干涉显微镜,不确定度,重复性,稳定性,光学仪器
[作者]
黄健,中国空气动力研究与发展中心校准/测试实验室
[会议名称]
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会
[会议时间]
20021031
[会议地点]
四川绵阳
[主办单位]
中国自动化学会
[会议分类]
[母体文献]
西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会论文集
[出版单位]
中国自动化学会
[出版地]
北京
[出版时间]
20021031
[页码]
12-13
[注释项]
吕庆新
[分类]
[密级]
[馆藏号]
H046945
页:
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