renkai 发表于 2013-5-23 18:39:12

求教平面度的测量

请问不大于0.5μm的平面度该用什么方法测量？

yj407 发表于 2013-5-23 20:29:10

被测面有多大？是什么样子的？

xxboxx 发表于 2013-6-18 08:28:19

平晶，或多点高精度测头差动测量

dingsen 发表于 2013-7-18 07:04:01

精度这么高啊，也就只有平晶了

clairezhang 发表于 2013-7-26 10:26:17

超过100mm量程的不用平晶的话可以用什么？好像是钢球什么的吧

Jamque 发表于 2013-9-27 15:21:12

什么样的工件？多大尺寸？如果是圆晶硅片类产品，可以用基于电容传感器的专用量仪，测量范围在1000um，测量平面度时测量精度在+/-0.05um，重复精度0.03um

zpzjl 发表于 2013-10-17 10:37:41

三坐标 精度是达不到的
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