兑水 发表于 2008-1-26 14:46:19

工作平晶平面度测量不确定度评定

刘丽娟
湖南省计量测试技术研究所，长沙410004

摘　要:本文对JJG28-2000《平晶》中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm-l00mm)平面度的方法进行了分析、评定，得出了平面度的测量结果不确定度。

关键词:工作平晶 平面度 等厚干涉法 不确定度 行业标准 评定
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