GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
本帖最后由 evilrabbi 于 2013-11-25 11:00 编辑【 标准编号 】 GB/T 26250-2010
【 标准名称 】电子工业用气体 砷化氢
【 英文名称 】 Gases for electronic industry-Arsine
【 发布单位 】 国家质检总局、国家标准化管理委员会
【 归口单位 】 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC 203/SC 1)
【 发布日期 】 2011-01-14
【 实施日期 】2011-05-01
【 开本页数 】 6P
【 替代标准 】 无
【 起草单位 】 西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
【 起 草 人 】孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩
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