GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
【 标准编号 】 GB/T 26249-2010【 标准名称 】 电子工业用气体 硒化氢
【 英文名称 】 Gases for electronic industry. Hydrogen selenide
【 发布单位 】 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
【 归口单位 】 全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会
【 发布日期 】 2011-01-14
【 实施日期 】 2011-05-01
【 开本页数 】 13P
【 替代标准 】 无
【 起草单位 】 中国计量科学研究院
【 起 草 人 】周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵
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