蓝猪 发表于 2014-12-17 13:47:21

白光干涉轮廓仪有检定规程吗

请教：白光干涉轮廓仪有校准规范吗？我主要是用该仪器测量工能测量y,z方向的尺寸，这种情况下，可以按影像测量仪校准规范进行校准吗？

中图仪器 发表于 2019-8-30 16:26:49

目前只能按照ISO标准

紫川小乐 发表于 2024-12-30 09:24:30

有的：JJF（皖）146-2023白光干涉轮廓仪校准规范

长度室 发表于 2024-12-31 09:22:25

有个JJF（苏）261-2023 光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范，适用于光学显微干涉式三维表面形貌测量仪（也叫白光干涉仪），看看合适不。国家的也起草了，还没公布。
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