1MΩ-100GΩ高值电阻器高精度的校准方法
作 者:王一帮 郑世棋 梁法国 乔玉娥 刘霞美机构地区:中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
摘 要:高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度(±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求. 下载来学学 说提出有点不合适吧,双源电桥原理好早就有了。。。
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