namehsc 发表于 2016-10-28 15:26:51

纳米级测厚仪校准

各位量友大家好,前段时间遇到了济南安妮麦特生产的(9~80)nm的测厚仪,请问国家有相应的检规或规范,如何进行校准?所用标准器是什么,谢谢大家了,此仪器为接触式的

cuiyihua 发表于 2022-6-29 11:14:59

没用过这么高精的仪器

lijuncnb66666 发表于 2022-6-30 15:47:03

精度太高了,需要专门配套的校准器吧,设备自带的那种,使用过μm的测厚仪,第三方校准机构证书上写的是JJF 1255-2010《厚度表校准规范》,不知道对你这种情况,有没有用。

237358527 发表于 2022-7-1 11:46:22

lijuncnb66666 发表于 2022-6-30 15:47
精度太高了,需要专门配套的校准器吧,设备自带的那种,使用过μm的测厚仪,第三方校准机构证书上写的是JJF ...

这种第三方校准机构就是在搞笑。

benfreejx 发表于 2022-7-10 14:01:44

谢谢,学习了
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