微纳坐标测量机间接校准方法的探究
施玉书1,2,高思田2,宋小平2,郭鑫3,陈思文1,皮磊2,李伟2,李琪2,李适2,王兴旺21.天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
2.中国计量科学研究院, 北京 100029
3.中国计量大学 计量测试工程学院, 浙江 杭州 310018
摘要 针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2 μm,探测误差仅为0.125 μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性。
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