表面粗糙度您了解多少?
表面粗糙度,是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度,其两波峰或两波谷之间的距离(波距)很小(在1mm以下),它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小,则表面越光滑。表面粗糙度的评定方法1.二维粗糙度评定在常规工业加工领域中,Ra是常用的表面粗糙度评定参数,其定义为在取样长度L内,轮廓偏距的绝对值的算术平均值。https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204291060463.png2.三维粗糙度评定随着工业制造越来越精密化,特别是半导体和3C电子行业,传统的粗糙度评定为二维参数评定,评定的时候在一条线上进行评定,不能够完整地反映整个表面的全部信息,无法满足行业发展需求。表面形貌的三维评定方法是利用区域表面获得所需要的相关信息,给出表面形成机理信息和研究表面的直观图像,三维评定从整体上对零件表面特征进行描述,具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。Sa为表面算术平均高度,指轮廓表面内的点与中心面距离的算术平均或几何平均值,在取样区域D上,被测量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标距离的算术平均,即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术平均,数学表达式如下。https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204296404494.png
表面粗糙度测量方案中图仪器拥有丰富多样的粗糙度测量解决方案,可满足各行业测量需求。1. SJ5760-R大量程粗糙度测量仪
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SJ5760-R大量程粗糙度测量仪Z0轴行程±20µm~±400µm,粗糙度测量范围Ra0.1μm~Ra64μm,可进行R参数、P参数、W参数、Motif参数等多种参数评定,应用非常广泛。https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204294571088.png
SJ5760-R用于轴承钢球的表面粗糙度测量2. SJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪
https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204295484228.pngSJ5730高精度粗糙度轮廓测量仪一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数,具有14mm大量程粗糙度测量范围,分辨率高达到次纳米级,系统残余误差极小(<2nm),非常适合测量大曲面(轴承、关节、精密模具、齿轮、叶片、非球面)的超高精度表面粗糙度及微观Pt轮廓。
https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204294411116.pnghttps://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204296569536.pngSJ5730用于圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测量3. SuperView W1光学3D表面轮廓仪
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SuperView W1光学3D表面轮廓仪,以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造等领域,可测从纳米到微米级别工件的粗糙度。https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204299382160.png
硅晶圆粗糙度测量https://www.chotest.com/Upload/2022/4/202204293328916.png
蓝宝石粗糙度测量
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