氦质谱检漏仪校准规范(征求意见稿)
氦质谱检漏仪校准规范(征求意见稿)氦质谱检漏仪(以下简称检漏仪)主要利用不同质荷比的离子在磁场中受洛伦兹力不同而做圆周运动半径不同的磁偏转原理,将不同离子分离并通过收集氦气的离子流实现漏率的测量。检漏仪广泛应用于航空航天、核工业、石油化工、食品药品和电子电器等领域,测量关键设备和部件的漏率,保证生产和运行的安全和稳定。
检漏仪主要由离子源、分析器、接收器、真空系统、数据分析系统及其它电气部分组成。检漏仪内部的构造及工作原理见图1。
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