激光干涉仪
本帖最后由 兑水 于 2025-2-17 15:29 编辑规格量程范围测量精度分辨率
线性测量0 m – 80 m
±0.5ppm0.001µm
角度测量0 m – 15 m±175 mm/m±0.002A±0.5±0.1M微弧度
±0.0002A±0.5±0.1M微弧度*0.1µm/m
直线度测量0.1m – 4.0 m*
1 m – 30 m±2.5mm±0.005A±0.5±0.15M2µm
±0.025A±5±0.015M2µm0.01µm
0.1µm
回转轴测量25转
±5µm/m
平面度测量0 m – 15 m±1.5 mm±0.002A±0.02 M2µm0.01µm
垂直度测量±3/M mm/m
±0.005A±2.5±0.8 M微弧度
±0.025A±2.5±0.08 M微弧度0.01µm/m
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