八一八 发表于 2025-6-1 13:59:13

膨胀法真空装置

由薄膜真空计、电离真空计、真空发生装置组成。利用真空发生装置可方便、准确地实现不同的真空度，利用薄膜真空计、电离真空计可根据不同要求实现真空计校准。

测 量 范 围1.0×10-4Pa至1.0×105Pa

不 确 定 度Urel=（1.0～11）%，k=2

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