rybmsi 发表于 2008-6-12 17:05:15

平面平晶的使用方法

我们公司别的部门买了几个平面平晶,说是要检查平面度,请教我们怎么使用,我也是只知道些皮毛,好像是说干涉条纹越少越好,别的就一知半解了,请教有什么可以参考的资料吗?

duomeiti 发表于 2008-6-12 21:53:59

转:

测量时﹐把平晶放在被测表面上﹐且与被测表面形成一个很小的楔角﹐以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面﹐且平晶与被测表面间的间隙很小﹐则由平晶测量面P 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下﹐则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直﹐相互平行﹐且分布均匀﹐则表示被测表面的平面度很好﹔如干涉条纹弯曲﹐则表示平面度不好。其误差值为 ﹐式中 为两干涉条纹间距离﹐ 为干涉条纹的弯曲值﹐ 为光波波长﹐白光波长一般以0.6微米计算。

YAH 发表于 2008-6-12 22:01:28

当干涉条纹平直、互相平行,且又均匀分布时,则说明其平面度好;当干涉条纹不规则、且无规律时,则说明其平面度不好。

冰雪 发表于 2008-6-13 06:03:22

平面平晶的干涉条纹平直则表示平面好.如果是彩色光圈一圈则是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈则用所看到的圈数乘以0.3则是它的平面度.如是弧形则表示是0.3以下.

nana 发表于 2008-6-13 09:31:27

最简单的方法,在测量时读出明暗条纹的条纹数(明或暗,一般读出暗条纹的个数即可)乘以0.3,结果即是平面度。(单位为um)

rybmsi 发表于 2008-6-13 09:35:33

原帖由 duomeiti 于 2008-6-12 21:53 发表 http://www.gfjl.org/images/common/back.gif
测量时﹐把平晶放在被测表面上﹐且与被测表面形成一个很小的楔角﹐以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面﹐且平晶与被测表面间的间隙很小﹐则由平晶测量面P 反射的光 ...
单色光源是指什么????
平时的手电筒行不?

rybmsi 发表于 2008-6-13 09:36:16

原帖由 nana 于 2008-6-13 09:31 发表 http://www.gfjl.org/images/common/back.gif
最简单的方法,在测量时读出明暗条纹的条纹数(明或暗,一般读出暗条纹的个数即可)乘以0.3,结果即是平面度。(单位为um)
这个乘以0.3的结论是怎么得来的呀,谢谢!

duomeiti 发表于 2008-6-13 21:37:43

回复 7# 的帖子

白光波长一般以0.6um,(λ/2)=0.3um。

zjauto 发表于 2008-6-17 21:26:19

游标卡尺的测量面平面度用什么检定? 平晶还是刀口尺?

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:57 编辑 ]

nana 发表于 2008-6-18 09:47:16

回复 9# 的帖子

外量爪用刀口尺测量,内量爪用千分尺测量。

souleater 发表于 2008-6-18 15:55:19

原帖由 rybmsi 于 2008-6-13 09:35 发表 http://www.gfjl.org/images/common/back.gif

单色光源是指什么????
平时的手电筒行不?
单色光源一般情况下就是指日常工作光源,像白色荧光灯之类!

duomeiti 发表于 2008-6-21 15:45:12

原帖由 zjauto 于 2008-6-17 21:26 发表 http://www.gfjl.org/images/common/back.gif
游伴卡尺的测量面平面度用什么检定? 平晶还是刀口尺?
游标卡尺的测量面平面度用刀口尺检。见:JJG 30-2002 通用卡尺检定规程

houston 发表于 2008-6-21 21:11:40

你们公司平晶如果没有等厚干涉仪需要三个相互检定才行,

jlltzc 发表于 2008-6-27 00:04:48

引用一本书上的内容:
1)根据干涉条纹计算平面度误差
测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹,如图所示,调整平晶位置,使之出现3~5条干涉带,则平面度误差的近似值为:
f= (v/ω)×(λ/2)
λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量,ω为干涉带间距
但是如何精确确定ν和ω的值,我也很迷惑!
2)根据光圈计算平面度误差
若被测平面凹或凸,则会出现环形干涉带,调整平晶的位置,使干涉带数为最少,则平面度误差的近似值为:
f=(λ/2) ×n
λ为光波波长,白光的平均波长为0.58μm;n为平晶直径方向上的光圈数

示意图如下


[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 编辑 ]

herringhsu 发表于 2008-7-6 20:07:56


平晶具有两个(或一个)光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。
光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面,
它能够产生光波干涉条纹(见激光测长技术)。平晶有平面平晶和平行平晶两种。
平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差,
图1a为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。
平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的,用于测量两高光洁表面的平行度误差,
例如千分尺两测量面的平行度误差(图1b)。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。
圆柱形平面平晶的直径通常为 45~150毫米。
其光学测量平面的平面度误差为:1级精度的为0.03~0.05微米;2级精度的为0.1微米。
常见的长方形平面平晶的有效长度一般为200毫米。

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[ 本帖最后由 herringhsu 于 2008-7-6 20:23 编辑 ]

xqbljc 发表于 2009-9-13 18:24:20

最简单的方法,在测量时读出明暗条纹的条纹数(明或暗,一般读出暗条纹的个数即可)乘以0.3,结果即是平面度。(单位为um)
nana 发表于 2008-6-13 09:31 http://www.gfjl.org/images/common/back.gif搞几何量计量的人不应出现这样的错误:微米应写作μm,而不应写作um,希腊字母μ是词头,它表示对长度的主单位米(m)的负6此方,而英语u不是词头,表达的意思也完全不一样,所以um是一个错误的单位,说明此事决不是吹毛求疵。

钟智 发表于 2009-10-31 14:49:53

检查千分尺的是一圈一圈的,圈数越少越好吗?楔角是什么意思啊?

kellyy 发表于 2009-10-31 22:48:51

检查千分尺的是一圈一圈的,圈数越少越好吗?楔角是什么意思啊?
钟智 发表于 2009-10-31 14:49 http://www.gfjl.org/images/common/back.gif当然是圈数越少越好;楔角是指平晶与千分尺测砧之间所保持的角度(平晶并不是平压在测砧上时),就像14#回帖中左边那幅图一样。

dalian139 发表于 2017-2-16 13:48:44

收获很大啊。只是没有看到图阿?

94541324 发表于 2017-6-26 11:06:09

继续学习中

计量新力量 发表于 2019-6-6 09:55:27

继续学习中,有一点遗憾的是图片打不开

计量-魁 发表于 2019-12-7 09:19:00

挺好,学习了!

shenzhu 发表于 2019-12-23 10:44:43

来学习,受教了
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