YS/T 27-1992晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法
【 标准编号 】 YS/T 27-1992<BR>【 标准名称 】 晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法 <BR>【 发布单位 】 CSIC-YS<BR>【 批准单位 】 中国有色金属工业总公司<BR>【 发布日期 】 1992-3-9<BR>【 实施日期 】 1993-1-1<BR>【 开本页数 】 3P<BR>【 采用关系 】 ASTM F 24-65,EQV<BR>【 起草单位 】 上海第二冶炼厂<BR>
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