woshi_tjy 发表于 2008-6-14 10:51:13

YS/T 23-1992硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

【 标准编号 】 YS/T 23-1992<BR>【 标准名称 】 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法&nbsp;&nbsp;<BR>【 发布单位 】 CSIC-YS<BR>【 批准单位 】 中国有色金属工业总公司<BR>【 发布日期 】 1992-3-9<BR>【 实施日期 】 1993-1-1<BR>【 开本页数 】 3P<BR>【 起草单位 】 上海市有色金属总公司半导体材料厂<BR>
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