YS/T 15-91硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
【 标准编号 】 YS/T 15-91<BR>【 标准名称 】 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 <BR>【 发布单位 】 中国有色金属工业总公司<BR>【 批准单位 】 中国有色金属工业总公司<BR>【 发布日期 】 1991-4-26<BR>【 实施日期 】 1992-6-1<BR>【 开本页数 】 5P<BR>【 引用标准 】 GB 1550<BR>【 起草单位 】 上海有色金属研究所<BR>【 起 草 人 】 张玉芬; 夏锦禄<BR><BR>
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