SJ/T 11275-2002卧式液相外延系统通用规范
【 标准编号 】 SJ/T 11275-2002<BR>【 标准名称 】 卧式液相外延系统通用规范 <BR>【 英文名称 】 Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国信息产业部<BR>【 发布日期 】 2002-10-30<BR>【 实施日期 】 2003-3-1<BR>【 开本页数 】 11P<BR>【 引用标准 】 GB 191; GBn 193; GB 5080.7; GB 6388; SJ/T 37-1996; SJ 1276; SJ 2573<BR>【 起草单位 】 信息产业部电子第四十八研究所<BR>【 起 草 人 】 袁章其; 刘日喜; 王理政; 李军阳<BR><BR>
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