SJ/T 10583-94气体质量流量控制器通用技术条件
【 标准编号 】 SJ/T 10583-94<BR>【 标准名称 】 气体质量流量控制器通用技术条件 <BR>【 英文名称 】 General specification for gas mass flow controller<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1994-8-8<BR>【 实施日期 】 1994-12-1<BR>【 开本页数 】 16P<BR>【 引用标准 】 GB 191; GB 6388; GB/T 13384; SJ 37; SJ/T<BR>【 起草单位 】 北京建中机器厂<BR>【 起 草 人 】 龚光祥; 刘学俭; 钱祖权<BR>
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