SJ/T 31116-94PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
【 标准编号 】 SJ/T 31116-94<BR>【 标准名称 】 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法 <BR>【 发布单位 】 CSIC-SJ<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1994-4-15<BR>【 实施日期 】 1994-6-1<BR>【 开本页数 】 2P<BR>【 起草单位 】 中国华晶电子集团公司; 国营南光机器厂<BR>【 起 草 人 】 王浩清; 华一新; 顾军建; 吴正伟; 王洪波<BR>
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