SJ/T 10481-94硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法
【 标准编号 】 SJ/T 10481-94<BR>【 标准名称 】 硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for resistivity of silicon epitaxial layers by area contacts three-probe techniques<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1994-4-11<BR>【 实施日期 】 1994-10-1<BR>【 开本页数 】 8P<BR>【 引用标准 】 SJ 1550; GB 1550; GB 1552<BR>【 起草单位 】 电子工业部第四十六研究所; 常熟半导体器件厂<BR>【 起 草 人 】 孙毅之; 程元生; 朱坤宝; 夏瑞明; 王凤仙<BR>
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