SJ/T 10478-94磁控溅射设备通用技术条件
【 标准编号 】 SJ/T 10478-94<BR>【 标准名称 】 磁控溅射设备通用技术条件 <BR>【 英文名称 】 General specification for magnetic sputtering equipment<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1994-4-11<BR>【 实施日期 】 1994-10-1<BR>【 开本页数 】 10P<BR>【 引用标准 】 GB 191; GB 2681; GB 2682; GB 3163; GB 3797; GB 5080.7; GB 6388; GB 7231; GB/T 13334; GB 13840; ZBJ 78019; SJ 1276; SJ 2267; SJ 2573; SJ/T 10152<BR>【 起草单位 】 国营南光机器厂标准化研究所<BR>【 起 草 人 】 贺学红; 陆裕芳; 武又文; 靳毅; 金和东; 赵雨生<BR>
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