SJ/T 10312-92电子束曝光机通用技术条件
【 标准编号 】 SJ/T 10312-92<BR>【 标准名称 】 电子束曝光机通用技术条件 <BR>【 英文名称 】 General specification of electron beam exposure system<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 发布日期 】 1992-6-15<BR>【 实施日期 】 1992-12-1<BR>【 开本页数 】 13P<BR>【 引用标准 】 SJ/Z 1793; SJ 1276; JB 8; GBn 193; GB 191; GB 6388<BR>【 起草单位 】 机械电子工业部第48研究所<BR>【 起 草 人 】 张俊国<BR>
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