SJ/T 10311-92低压化学气相淀积设备通用技术条件
【 标准编号 】 SJ/T 10311-92<BR>【 标准名称 】 低压化学气相淀积设备通用技术条件 <BR>【 英文名称 】 Generic specification of low Pressure Chemical vapor Deposition system<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 发布日期 】 1992-6-15<BR>【 实施日期 】 1992-12-1<BR>【 开本页数 】 11P<BR>【 引用标准 】 SJ 2065; SJ 142; SJ 946; GB 191; GB 6388<BR>【 起草单位 】 国营建中机器厂<BR>【 起 草 人 】 王学忠; 刘映光<BR>
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