SJ/T 10274-91掩模对准曝光机测试方法
【 标准编号 】 SJ/T 10274-91<BR>【 标准名称 】 掩模对准曝光机测试方法 <BR>【 英文名称 】 Test methods of mask alignment and exposure system<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 发布日期 】 1991-11-12<BR>【 实施日期 】 1992-1-1<BR>【 开本页数 】 10P<BR>【 引用标准 】 GB 11481; GB 7237; GB 4857.9; GB 5398<BR>【 起草单位 】 国营南光机器厂<BR>【 起 草 人 】 唐志宇; 武又文<BR>
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