SJ/T 10152-91集成电路主要工艺设备术语
【 标准编号 】 SJ/T 10152-91<BR>【 标准名称 】 集成电路主要工艺设备术语 <BR>【 英文名称 】 Terms Relating to Main Equipment for Integrated Circuit Technologies<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 发布日期 】 1991-4-2<BR>【 实施日期 】 1991-7-1<BR>【 开本页数 】 67P<BR>【 起草单位 】 机械电子工业部第45研究所<BR>【 起 草 人 】 刘恩荣; 方伟林; 安志超; 濮川; 童志义<BR>
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