SJ 3236-89电子级气体中痕量氧的测定方法黄磷发光法
【 标准编号 】 SJ 3236-89<BR>【 标准名称 】 电子级气体中痕量氧的测定方法黄磷发光法 <BR>【 批准单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 发布日期 】 1989-3-20<BR>【 实施日期 】 1989-3-25<BR>【 开本页数 】 4P<BR>【 起草单位 】 无锡微电子联合公司; 中国科学院半导体研究所<BR>【 起 草 人 】 彭永清; 朱国华; 赵长春; 尹恩华<BR>
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