woshi_tjy 发表于 2008-8-6 19:41:11

SJ/Z 2927-88集成电路制版设备名词术语

【 标准编号 】 SJ/Z 2927-88<BR>【 标准名称 】 集成电路制版设备名词术语&nbsp;&nbsp;<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1988-3-10<BR>【 实施日期 】 1988-10-1<BR>【 开本页数 】 15P<BR>【 起草单位 】 电子工业部第四十五研究所<BR><BR>
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