SJ 2807-87电子级体气中痕量氢的测定方法气敏色谱法
【 标准编号 】 SJ 2807-87<BR>【 标准名称 】 电子级体气中痕量氢的测定方法气敏色谱法 <BR>【 发布单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1987-5-18<BR>【 实施日期 】 1988-1-1<BR>【 开本页数 】 5P<BR>【 起草单位 】 电子工业部第十设计研究院; 电子工业部标准化研究所; 中国科学院半导体研究所<BR>【 起 草 人 】 邹靖荪; 赵长春; 尹恩华<BR>
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