SJ 2802-87电子级气体中痕量二氧化碳的测定方法氢焰转化
【 标准编号 】 SJ 2802-87<BR>【 标准名称 】 电子级气体中痕量二氧化碳的测定方法氢焰转化色谱法 <BR>【 发布单位 】 电子工业部<BR>【 发布日期 】 1987-5-18<BR>【 实施日期 】 1988-1-1<BR>【 开本页数 】 5P<BR>【 起草单位 】 电子工业部第七四二厂; 上海测试技术研究所; 电子工业部标准化研究所; 中科院半导体研究所<BR>【 起 草 人 】 朱国华; 赵长春; 尹恩华<BR>
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