SJ 2794-87电子级气体
【 标准编号 】 SJ 2794-87<BR>【 标准名称 】 电子级气体 <BR>【 发布单位 】 电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国电子工业部<BR>【 发布日期 】 1987-5-18<BR>【 实施日期 】 1988-10-1<BR>【 开本页数 】 4P<BR>【 起草单位 】 中国科学院半导体研究所; 电子工业部标准化研究所; 北京半导体器件试验中心<BR>【 起 草 人 】 尹恩华; 赵长春; 周定华<BR>
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