JB/T 2965-92 溅射离子泵性能测试方法
【 标准编号 】 JB/T 2965-92<BR>【 标准名称 】 溅射离子泵性能测试方法 <BR>【 发布单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 批准单位 】 中华人民共和国机械电子工业部<BR>【 发布日期 】 1992-12-25<BR>【 实施日期 】 1993-7-1<BR>【 开本页数 】 5P<BR>【 替代标准 】 JB 2965-81<BR>【 起草单位 】 沈阳真空技术研究所<BR>【 起 草 人 】 冯玉国<BR>
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