GB/T 18867-2002电子工业用气体 六氟化硫
【 标准编号 】 GB/T 18867-2002<BR>【 标准名称 】 电子工业用气体 六氟化硫 <BR>【 英文名称 】 Gases for electronic industry-Sulfur hexafluoride<BR>【 发布单位 】 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局<BR>【 批准单位 】 @<BR>【 发布日期 】 2002-10-15<BR>【 实施日期 】 2003-4-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 引用标准 】 GB 190; GB 5099; GB/T 5832.1; GB/T 5832.2; GB 7144; GB/T 8984.1; GB/T 11640; GB 12022-1989<BR>【 采用关系 】 SEMI C3.24-1995,NEQ<BR>【 起草单位 】 中核红华特种气体股份有限公司; 西南化工研究设计院; 光明化工研究设计院<BR>【 起 草 人 】 杜伟华; 张奎; 贺国武; 张军; 何道善<BR>
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