请教--推车、料架接地电阻测量方法
不知各位高手有谁做过工厂里面的ESD量测工作。我想请教一下:
产线上所使用的推车、料架,如果和产品有直接接触,需不需要测试其接地电阻?
如果要测量,测量方法是什么?规格又是多少?
我曾试验过用万用表测量,一端放在推车的金属部位,一端放在地板上地网结点处。但测试结果跳动很大,测量时间越久,电阻越小,甚至从兆欧最后测到了千欧!
是否可以通过别的方法验证推车料架的接地情况,比如测量对地电阻?表面电阻等。请各位指教。 1.所有用在EPA区域的设备,都需要定期测量其ESD性能,具体方法与规格可以参照S20.20标准
2.你应该是用的数字万用表吧,数字万用表最容易受干扰,你用该用带重锤的表面阻抗测试仪测量 采用重锤式电阻测试仪进行测试。
对于表面是非金属材质的运输车,需要对其测量表面电阻及对地电阻;对于表面为金属材质的运输车,则只需要测试对地电阻。
我们采用的标准是IEC61340-5-1,它要求working surface,storage rock & trolleys的表面电阻为:1*104≤Rp≤1*1010
对地电阻为:7.5*105≤Rp≤1*109你可以作为参考。 谢谢楼上两位大哥分享宝贵经验,其实我也想尝试重锤式电阻测试仪进行量测,但是总有个问题搞不明白,所以又放弃了:
1.我们公司是无尘室,地板都是可以防静电的,这样的话,是不是可以将一个重锤放在推车上(推车是金属的),一个放在地板上就可以了?
2.这样的话其实也是相当于测量推车和地板构成的立方体的"体电阻",那么两个重锤之间的距离就会影响体电阻的大小,请问如果用这样的测量方法, 两个重锤之间的距离是不是应该有什么限制呢?
由于小弟第一次接触ESD工作,可能会问的比较细比较烦琐,劳烦各位大哥帮忙,在此先谢过了!!
此问题的进展进度
各位,小弟已于今日进入Fab内测量,验证两个重锤之间的距离是否会影响到量测结果,以下是测量数据:两重锤之间的距离 量测结果
30cm 5.86*105
60cm 4.87*105
120cm 6.40*105
因根据ESD S20.20,对地电阻需要小于10的9次方欧姆,而我的测量结果都是10的5此方欧姆,因此我认为上述三者差别不大。
也就是说:本人认为重锤之间的距离不会影响测量结果。
不知此方法验证是否可行,希望高手指点一.二
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