GB 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法
【 标准编号 】 GB 11073-1989<BR>【 标准名称 】 硅片径向电阻率变化的测量方法 <BR>【 英文名称 】 Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 中国有色金属工业总公司<BR>【 发布日期 】 1989-1-28<BR>【 实施日期 】 1990-2-1<BR>【 开本页数 】 12P<BR>
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