GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
【 标准编号 】 GB/T 17864-1999<BR>【 标准名称 】 关键尺寸(CD)计量方法 <BR>【 英文名称 】 CD Metrology procedures<BR>【 发布单位 】 国家质量技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家质量技术监督局<BR>【 发布日期 】 1999-9-13<BR>【 实施日期 】 2000-6-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 引用标准 】 GB/T 16878-1997; GB/T 16879-1997<BR>【 采用关系 】 IDT SEMI P24:1994<BR>【 起草单位 】 中国科学院微电子中心<BR>【 起 草 人 】 陈宝钦; 陈森锦; 廖温初; 刘明<BR>
页:
[1]