GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
【 标准编号 】 GB/T 14851-1993<BR>【 标准名称 】 电子工业用气体 磷化氢 <BR>【 英文名称 】 Gas for electronic industry—Phosphine<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1993-12-30<BR>【 实施日期 】 1994-10-1<BR>【 所属标准 】 GB<BR>【 开本页数 】 11P<BR>【 引用标准 】 GB 190; GB 4845; GB 5099; GB 5274; GB 5832.1; GB 7144; GB 7445; GB 8980; GB 9721<BR>【 采用关系 】 C3 STD.6-88; C3 STD.7-88<BR>【 起草单位 】 化学工业部光明化工研究所<BR>【 起 草 人 】 吕多俊<BR>
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