GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度红外反射测法
【 标准编号 】 GB/T 14847-1993<BR>【 标准名称 】 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1993-12-24<BR>【 实施日期 】 1994-9-1<BR>【 所属标准 】 GB<BR>【 开本页数 】 6P<BR>【 采用关系 】 ASTM F95-1989,EQV<BR>
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