柔指轻敲 发表于 2007-6-9 16:00:09

位移传感器

哪家位移传感器(精度0.1um)及量程>2mm.或越大越好?

admin 发表于 2007-6-9 23:22:22

用在哪里的？
激光干涉仪的技术要求够吗？

jlsts 发表于 2007-6-10 20:28:25

要求也太高了:lol
激光干涉仪精度足够，但不是简单的传感器了，其实杠杆放大后光栅尺也许也能达到要求。
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