GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
【 标准编号 】 GB/T 1558-1997<BR>【 标准名称 】 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 <BR>【 英文名称 】 Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1997-12-22<BR>【 实施日期 】 1998-8-1<BR>【 开本页数 】 6P<BR>【 替代标准 】 GB 1558-1983<BR>【 引用标准 】 GB/T 6618-95<BR>【 采用关系 】 ASTM F123-1991,EQV<BR>【 起草单位 】 峨嵋半导体材料厂<BR>
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