GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩
【 标准编号 】 GB/T 16945-1997<BR>【 标准名称 】 电子工业用气体 氩 <BR>【 英文名称 】 Gases for electronic industry—Argon<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1997-8-13<BR>【 实施日期 】 1998-5-1<BR>【 开本页数 】 4P<BR>【 引用标准 】 GB/T 4842-1995; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997; GB 14193-1993; JB/TQ 503-86; JB/T 6897-93; JB/T 6898-93<BR>【 采用关系 】 EQV SEMI C3.46-93<BR>【 起草单位 】 化学工业部西南化工研究院; 上海BOC气体工业有限公司; 武钢氧气厂; 洛阳单晶硅厂<BR>【 起 草 人 】 颜伯举; 王少楠<BR><BR>
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