woshi_tjy 发表于 2008-12-11 19:59:35

GB/T 16944-1997电子工业用气体 氮

【 标准编号 】 GB/T 16944-1997<BR>【 标准名称 】 电子工业用气体 氮&nbsp;&nbsp;<BR>【 英文名称 】 Gases for electronic industry—Nitrogen<BR>【 发布单位 】 SBTS<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1997-8-13<BR>【 实施日期 】 1998-5-1<BR>【 开本页数 】 4P<BR>【 引用标准 】 GB/T 3864-1996; GB/T 5832.1-86; GB/T 5832.2-86; GB/T 6285-86; GB/T 8981-88; GB/T 8984.1-1997; GB/T 8984.3-1997<BR>【 采用关系 】 EQV SEMI C3.28-92<BR>【 起草单位 】 化学工业部西南化工研究院; 北京普莱克斯实用气体有限公司<BR>【 起 草 人 】 何道善<BR>
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