GB/T 16595-1996 晶片通用网格规范
【 标准编号 】 GB/T 16595-1996<BR>【 标准名称 】 晶片通用网格规范 <BR>【 英文名称 】 Specification for a universal wafer grid<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1996-11-4<BR>【 实施日期 】 1997-4-1<BR>【 开本页数 】 7P<BR>【 引用标准 】 GB/T 1554-1995; GB/T 6624-1995; GB/T 12964-1991; GB/T 14139-93; GB/T 14142-93; GB/T 14264-93; YS/T 209-94<BR>【 采用关系 】 EQV SEMI M17-90<BR>【 起草单位 】 中国有色金属工业总公司标准计量研究所<BR>【 起 草 人 】 吴福立<BR>
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