GB/T 16524-1996光掩模对准标记规范
【 标准编号 】 GB/T 16524-1996<BR>【 标准名称 】 光掩模对准标记规范 <BR>【 英文名称 】 Specification for registration marks for photomasks<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1996-9-9<BR>【 实施日期 】 1997-5-1<BR>【 开本页数 】 5P<BR>【 引用标准 】 SJ/T 10152-91; SJ/T 10584-94<BR>【 采用关系 】 EQV SEMI P6-88<BR>【 起草单位 】 中国科学院微电子中心<BR>【 起 草 人 】 陈宝钦; 陈森锦; 陈福山; 冯朝斌<BR>
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