GB/T 16523-1996圆形石英玻璃光掩模基板规范
【 标准编号 】 GB/T 16523-1996<BR>【 标准名称 】 圆形石英玻璃光掩模基板规范 <BR>【 英文名称 】 Specification for round quartz photomask substrates<BR>【 发布单位 】 国家技术监督局<BR>【 批准单位 】 国家技术监督局<BR>【 发布日期 】 1996-9-9<BR>【 实施日期 】 1997-5-1<BR>【 开本页数 】 9P<BR>【 引用标准 】 GB 191-90; GB 2828-87; GB 2829-87; GB 7238-87; GB 9622.2-88<BR>【 采用关系 】 EQV SEMI P4-92<BR>【 起草单位 】 长沙韶光微电子总公司; 电子工业部标准化研究所<BR>【 起 草 人 】 谈仁良; 吴保华; 王亦林; 韩艳芬<BR>
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